中古 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000 #293654416 を販売中

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000は半導体製造業で使用されるエッチャーおよびアッシャーです。そのユニークな物理設計は、多くの競合他社よりも設置面積が小さいため、タイトで混雑したプロセスラインでの使用に最適です。このマシンは、高度な光学系、イメージセンシング、強化されたロボットコントロールを備えており、装置が処理歩留まりを大幅に向上させることができます。さらに、ウェーハの積み降ろし、ガス配送、堆積、ウェーハアライメント、パターニングなど、幅広い自動化機能を備えています。効率的な設計と信頼性の高い処理のこのユニークな組み合わせにより、GASONICS Aura 2000は半導体製造に最適です。このマシンは、ウェーハ上の望ましいパターンを迅速かつ正確に検出できる特別な高速トラックレーザーイメージスキャン（FLIS）システムで設計されています。このユニットは、エッチング精度が非常に高く、プロセスの柔軟性が大幅に向上します。さらに、光学マルチプレクサにより、最大8つの同時エッチング作業を実行し、スループットを向上させ、マシンの能力を最大限に引き出すことができます。必要なエッチングパラメータに応じて、ライン幅スケーリング、金属パターニング、金属層の堆積、カスタムデザインパターニングなど、さまざまなプロセスタイプに使用できます。NOVELLUS Aura 2000は、ガスと蒸着のデリバリーに関して、最大15個のガスを同時に効率的に処理できる5バルブガスのデリバリーツールを搭載しています。このモデルには、自動パージユニットとガソリンコントロールステーションが含まれており、技術者がガスの流れとバランスを遠隔で制御することができます。このマシンはまた、スループットを向上させ、手作業の人件費を削減するのに役立つ完全に自動化されたハンドラ装置を備えています。さらに、このシステムは、高度なロボット制御のおかげで、定義済みのエッチング層をすぐにウェーハに配置することができます。さらに、Aura 2000はいくつかの安全機能を備えて設計されています。これには、チャンバーに入る前にガスを浄化するのに役立つ二重圧力濾過ユニットと、危険物の使用による事故を防ぐためのレーザー安全インターロックと複数の保護装置が含まれています。さらに、機械に加えられた安全のための電気および陰極光線の保護が両方あります。GASONICS/NOVELLUS Aura 2000は、アプリケーションに関係なく、効率的で信頼性が高く、安全なエッチングとアッシングに最適です。