中古 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000 #293761940 を販売中

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000は、集積回路やその他のマイクロエレクトロニクスデバイスの製造に使用されるエッチャー/アッシャーです。生産およびエンジニアリングで使用されるほとんどのルーチンエッチングおよびアッシングアプリケーションの処理に適しています。この装置は、優れた柔軟性と精度を維持しながら、高速で信頼性の高い再現性のあるプロセスを提供するように設計されています。GASONICS Aura 2000は、基板洗浄と材料エッチングを最適化するために設計された特許取得済みの3段階プロセスを利用しています。プロセスの最初の段階はエッチング段階です。この段階では、必要なエッチング化学とパッシベーション層が基板に適用されます。エッチング化学およびパッシベーション層は、基板上に存在する可能性のある有機または金属汚染物質を分解するように設計されており、きれいな基板表面を残すように設計されています。第2段階はアッシングステージです。この段階では、酸素がチャンバーに導入され、アッシング処理が開始されます。酸素は表面汚染物質と反応して酸化し、固体から気体へと変化します。さらに、アッシングプロセスは、エッチングプロセスから取り残された可能性のある残留物を取り除くのに役立ちます。プロセスの最終段階はクリーニングステージです。この段階で、チャンバーは窒素ガスで溢れ、残りのプロセス残留物を洗い流すのに役立ちます。窒素ガスは、チャンバーの大気から不純物を除去するためにも使用され、チャンバー内の清潔で均一な雰囲気を確保します。NOVELLUS Aura 2000には、プロセス監視とオートメーション機能を備えており、正確なプロセス制御と再現性を保証します。このシステムには、ユニットのプログラミングとプロセスの最適化を容易にする統合コントローラも装備されています。このマシンはまた、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えており、ユーザーは簡単かつ迅速にツールをセットアップして制御することができます。Aura 2000は、さまざまなエッチングおよびアッシング用途に最適なソリューションです。このアセットは、優れた柔軟性と精度を提供しながら、迅速で信頼性の高い再現性のあるプロセス性能を保証します。統合されたオートメーションソリューションであるGASONICS/NOVELLUS Aura 2000は、多くのエッチングおよびアッシングプロセスにおいて費用対効果が高く効率的なソリューションです。