中古 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000 #9077802 を販売中

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000は、半導体製造に使用されるハイエンドウェーハエッチャー/アッシャーです。これは、様々な材料の堆積とエッチング速度を制御することができる2つのプロセスチャンバーが装備されています。低k誘電体のサポート、チャンバーモニタリング用の石英ビューポート、マルチチャンバー基板ローディングおよびバイアス機能、イオンおよびプラズマソーススパッタリングのオプションなど、さまざまな機能が搭載されています。GASONICS Aura 2000は、反応イオンエッチング、ディープリアクティブイオンエッチング、有機エッチング、高アスペクト比エッチングなど、さまざまなプロセスを使用して、さまざまな材料をエッチングできます。また、光学監視装置を内蔵しており、エッチング工程のリアルタイム監視が可能です。このデバイスは高度なプロセス制御インターフェースを備えています。標準プロセスやカスタマイズされたプロセスを異なるレイヤー、デバイス、構造に合わせて実行するようにプログラムすることができます。これは、連続して複数のプロセスを実行することができます、ダウンサイクルタイムを駆動します。これは、必要なエッチングに基づいてプロセス条件を最適化するように設計されたさまざまなレシピで事前に構成されています。NOVELLUS Aura 2000は、自動化されたバルブチェックポイントも備えており、エッチングプロセスの一貫性を確保し、再現性と精度を提供します。このデバイスには、反応性ガスと不活性ガス供給システムのバランスが装備されています。時間の経過とともにきれいなプロセスが可能になるように設計されており、プロセス速度と清浄度のバランスをとっています。また、チャンバー内およびウェーハ周辺の操作の安全性を確保するために、さまざまなセンサーと監視装置を備えており、事故を回避するのに役立ちます。このマシンは、さまざまな診断および監視サブシステムで構築されており、高度なプロセス最適化を可能にします。処理チャンバから汚染物質を除去するためのデガスモジュールと、自動ウェハエッチングフォーカス制御用のオートフォーカスシステムが含まれています。ユニットはマルチチャンバー対応で、生産ライン内の他のツールと容易に統合できます。全体として、Aura 2000は最先端のエッチングおよびアッシャーマシンであり、特に半導体製造プロセスのプロセスを簡素化し、スループットを向上させるように設計されています。高精度で高い歩留まりのウェーハエッチングを実現するとともに、各種制御機能やエッチングガスなどの各種オプションを提供します。