中古 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000 #9247828 を販売中

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000は、フォトリソグラフィ、半導体デバイス製造、ウェハレベル包装など、さまざまな用途に使用されるエッチャー/アッシャーです。エッチングプロセスでクリーンなサイドウォールを維持しながら、小さなフィーチャーサイズで構造を正確にエッチングするように設計されています。エッチング処理は真空チャンバーで行われるため、周囲空気の保護毛布を必要としない低温プロセスに最適です。GASONICS Aura 2000は、その望ましい最終結果を達成するために様々な技術を利用しています。これらには、レーザー誘導プラズマエッチングプロセス、プラズマ強化化学蒸着（PECVD）プロセス、イオンビームエッチング、および下流処理の範囲が含まれます。レーザー誘導プラズマエッチングプロセスは、レーザービームと不活性ガスのプラズマを使用して正確なエッチングパターンを作成します。それは複雑な特徴のために完全な端の粗さの鋭く、きれいなラインを作り出します。PECVDプロセスは、真空環境でシリコン酸化物などの材料の低温蒸着を可能にします。このプロセスは、従来の技術では不可能な困難な構造を作成するために理想的です。イオンビームエッチングは、プロセス中のイオンのエネルギー、方向、速度を制御することにより、エッチング工程を微調整するために使用されます。特に、高アスペクト比（HAR）およびサブミクロン構造に有効です。最後に、NOVELLUS Aura 2000には、さまざまなダウンストリームプロセスソリューションが付属しています。これには、エッチング後のクリーニング、サイドウォールの不動態化、フィルムの最適化、および材料分析が含まれます。これにより、エッチング処理を迅速かつ正確に制御することができ、結果として完璧な結果が得られます。要するに、Aura 2000は小さい特徴サイズで精密で、きれいなエッチングパターンを作り出すように設計されている強力なエッチングおよびashing機械です。レーザー誘導プラズマエッチング、PECVDプロセス、イオンビームエッチングとオンボード下流処理を組み合わせて、完璧な結果を生み出します。