中古 VERTEQ 1600 #9300474 を販売中

VERTEQ 1600
製造業者
VERTEQ
モデル
1600
ID: 9300474
ウェーハサイズ: 6"
Spin Rinse Dryers (SRD), 6".
VERTEQ 1600は、信頼性とユーザーフレンドリーでありながら、高精度と再現性を提供するように設計された精密フォトレジスト機器です。このシステムは、半導体および同様の薄膜デバイス製造業界の高精度エッチングおよびレジストストリッピングに最適です。自動化された自己完結型のユニットで、元のフォトレジストフィルム以外に外部ラインや電源を追加する必要はありません。本機は、片面または両面の操作をサポートし、幅広いフォトレジストフィルムの厚さと樹脂特性に対応します。1600は、特別な高速干渉ステージを利用して、フォトレジストフィルムの広い領域でエッチングと剥離の前例のない均一性を達成します。このステージでは、レジストフィルムに正確に配置し、レーザービームを偏光させ、マスク形状とサイズに応じてビームを配置することができます。このアセットには、品質管理のための迅速かつ簡単なテストを可能にする正確なパス/フェイル診断モデルも備えています。VERTEQ 1600によって達成された正確なレベルの制御と均一性により、エッチングとストリッピングが迅速かつ正確に行われ、薄膜材料の損傷や汚染のリスクはありません。また、外部からの追加供給が不要なため、周辺環境の危険な汚染のリスクが低減されています。また、直感的なユーザーインターフェイスを備えており、アラームやコマンドを簡単に理解できます。各ユニットのコマンドには2つのパラメータがあり、フォトレジストエッチング/ストリッピングプロセスを正確に制御できます。さらに、マシンには、空気の温度と流量を制御するために調整可能な強力なエアナイフツールが装備されています。1600の汎用性と精度は、正確で信頼性の高いフォトレジストエッチングとストリッピングを必要とする薄膜デバイス製造業界に最適です。ユーザーがデバイスを汚染または損傷のリスクにさらすことなく、薄膜からフォトレジストをエッチングおよびストリップできる資産を探している場合は、VERTEQ 1600が理想的なモデルです。
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