中古 VERTEQ 1600 #9226189 を販売中

製造業者
VERTEQ
モデル
1600
ID: 9226189
ウェーハサイズ: 6"
Spin dryer, 6".
VERTEQ 1600は、VERTEQ Corporationが正確で高速なフォトレジスト蒸着のために開発した高度なフォトレジスト装置です。このフォトレジストシステムは、マイクロエレクトロニクスアプリケーション用の高スループットレジストコーティングが可能です。それは基質にフォトレジスト材料の精密な量を分配し、1秒あたりのインチの複数の層でそれを層にすることができます。1600は、17cm2/分までのスピードで、大量生産のための優れたスループットを提供します。単位に精密で、正確なコーティングおよび水平になるための可変的な速度およびパワー制御があります。フォトレジストの厚みが均一になるため、基板面積のばらつきを最小限に抑えることができます。このマシンには、高度なプロセス監視および制御機能も搭載されています。プロセスデータと厚さ値、分配率、総工程時間などの主要パラメータが保存され、リモートで監視およびアクセスできます。このツールはまた、操作を簡単かつ便利にするグラフィックユーザーインターフェイスを提供します。VERTEQ 1600は精密な配達およびレベル制御のための統合されたディスペンスヘッドが装備されています。この資産は、厚い粘度から非常に薄い粘度まで、あらゆる種類の液体フォトレジスト材料を分散させることができます。ディスペンスヘッドは可動式で、基板面積全体にわたってカバレッジを最適化するために配置することができます。また、フォトレジスト材料を堆積する際に基板の隣接位置を正確に追跡し、画像化する先進的なビジョン装置を搭載しています。高度なビジョンシステムにより、1600は基板のあらゆる領域に正確なフォトレジスト成膜を実現し、高い反復性を実現します。この単位は容易な組み立ておよび操作のために設計されています。内蔵の安全プロトコルとセルフテストモードにより、一貫した信頼性の高いパフォーマンスを保証します。ユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスにより、ユーザーは最大25のカスタマイズされたレシピを作成して時間とコストを節約できます。全体として、VERTEQ 1600は、信頼性の高い精度とスループットを提供する高度なフォトレジストマシンです。マイクロエレクトロニクス製造プロセスを最適化し、優れたフォトレジスト蒸着を実現するさまざまな機能を提供します。ユーザーは、優れたパフォーマンス、信頼性、および優れたプロセス制御を保証します。
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