中古 VERTEQ 1600 #9245627 を販売中

VERTEQ 1600は、リソグラフィープロセスの完全な制御と精度を可能にする精密フォトレジスト装置です。このシステムは、登録の難易度を最小限に抑える必要がある高解像度を必要とするアプリケーションに最適です。1600は、高精度の6軸関節操作アームと5軸回転モジュールを備えており、基板の操作に最大限の柔軟性を提供します。さらに、VERTEQ 1600は、特許出願中の「トッププレート」を備えており、基板を満たすために移動するため、ユニットは接触することなく素早く基板を選ぶことができます。この繊細なプロセスと正確に配置された基板と底板を組み合わせることで、プロセス全体にわたって正確な登録と制御が可能になります。1600は4インチおよび6インチの直径を支え、従って標準的な、また非標準の基質の高精度を提供します。このマシンはまた、ユーザー定義のプロセス制御と高解像度イメージング機能を備えており、フォトレジストスピナー、露出、開発、ウェット処理などのウェハレベルプロセス用に特別に構成されています。高度な光学設計と波長精度により、ウェーハアライメントプロセスに正確なイメージングを提供し、信頼性の高い動作を可能にします。VERTEQ 1600は、真空シールキャプチャツールによる環境ホコリや損傷からの基板の優れた保護を提供します。アセットのロープロファイル設計により、通常はフルサクションカップベースのソリューションを使用できないスペースに収まることができます。最新の安全プロトコルに準拠しており、有害な排出を最小限に抑えるように設計されています。1600モデルは、リソグラフィにおいて最高レベルの精度と再現性を提供するため、精密なイメージングを必要とするアプリケーションに最適です。このフォトレジスト装置は、フォトレジストスピナー、露出、開発およびウェット処理などのウェハレベルのプロセスの厳しい要求に対応するように特別に設計されています。高度な光学設計、優れた保護、および強化された信頼性は、このシステムを今日の市場で最高のものにします。VERTEQ 1600ユニットは、研究開発および生産アプリケーションの両方に最適です。