中古 VERTEQ 1600 #9219679 を販売中

VERTEQ 1600フォトレジスト装置は、さまざまな基板上の集積回路を製造するための最先端のツールです。ウエハサイズは直径75mm〜450mmまで対応可能です。このシステムは、垂直スキャンされた電子ビーム（VSEB）リソグラフィープロセスに基づいています。このユニットは、ハーフミクロン以上のサイズまでの優れた解像度とパターニング機能を提供します。1600は、高度なビーム制御マシン（BCS）を備えており、ビームのアライメントを正確に制御し、ウェーハ表面に焦点を当てることができます。これにより、ツールによって生成されるすべてのパターンが高精度で正確であることが保証されます。アセットには、アライメント用の光学顕微鏡、すべてのアライメントパラメータの自動校正ルーチン、高速で正確なステージ、高速で正確なオーバーレイルーチンなど、他にも多くの利点があります。さらに、このモデルは、高度なウェーハローディング装置と直感的なユーザーインターフェイスも提供しています。VERTEQ 1600は、リソグラフィープロセスを容易にするために、さまざまな標準的なフォトレジストを使用しています。これらのフォトレジストは、さまざまなタイプの基板やプロセスで使用するために調整することができ、最大限の柔軟性と正確な機能工学を可能にします。さらに、レーザースキャンフォトリソグラフィやコンタクトリソグラフィなど、さまざまな露光方法を提供しています。これにより、フィーチャーを作成する際に最大限の精度が得られ、誰も露出した領域が他の領域に圧倒されないようになります。全体として、1600フォトレジストユニットは、高品質の集積回路を製造するための強力で信頼性の高いツールです。高度なビームアライメントマシン、精密なウェーハステージ、高解像度フォトレジスト、および複数のリソグラフィ方法がすべて組み合わされ、正確で正確で再現性のある結果が得られます。これにより、VERTEQ 1600は高性能マイクロエレクトロニクスの優れた選択肢となります。