中古 VERTEQ 1600 #9383555 を販売中

製造業者
VERTEQ
モデル
1600
ID: 9383555
Spin Rinse Dryer (SRD).
VERTEQ 1600は、ガラス、ウェーハ、サンプルなどの基板の信頼性と効率的なフォトリソグラフィックパターニングを提供するように設計された先進的なフォトレジスト機器です。レーザーベースのレジスト加工技術を活用し、半導体加工における高精度パターン複製と均一性を実現しています。1600は、20年以上にわたる最先端の研究開発の集大成です。このプラットフォームは、波形、スキャン速度、解像度、パワー、パルス幅などのさまざまなパラメータを正確に制御することで、プロセスを最適化することができます。このシステムは、特許取得済みのデュアルビームライティングユニットと高度なフォトリソグラフィおよびコンピュータ制御を使用して、シームレスな製造を可能にします。この配置は、高速プロセス速度と業界で利用可能な最高精度を可能にします。VERTEQ 1600には、レーザー駆動の2つの高速マイクロメートル間隔スキャンヘッドが装備されており、高度なアライメント安定性と分析機能が搭載されています。AFR (Automated Feature Recognition Machine)は、複雑なアライメントアルゴリズムを自動化するように設計されており、それに応じて任意のパターンと位置を認識できます。1600年に使用されたフォトレジスト材料は、低価格で水溶性の高分子材料であり、クリーンで迅速なアプリケーションとクリーニングプロセスを可能にします。これにより、高いスループットと再現性、および高い歩留まりが可能になります。このツールには独自のユーザーインターフェイスも装備されており、オペレータによる制御や機械の直接モニターによる制御が可能です。VERTEQ 1600を使用すると、オペレータはリアルタイムでプロセスパラメータを監視および調整でき、シームレスで一貫したプロセス制御が可能になります。1600は、平均サイズの基板の小さなバッチまたは高価な基板の精密加工を製造するための優れた選択肢です。堅牢な設計と高速スループットにより、既存のプロセスに簡単に統合できる、費用対効果の高い信頼性の高いソリューションです。
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