中古 VERTEQ 1600 #9226188 を販売中

VERTEQ 1600は1。6m x 1。6mの基板用に設計された先進的なフォトレジスト装置です。特許取得済みのHDR （High Dynamic Range）イメージングプロセスと515nmレーザーアレイを使用して、大型基板全体で最適なイメージング精度と均一性を実現します。そのユニークなHDRプロセスは、ハロー効果やその他の画像歪みのない、より速く、よりクリーンな露出を可能にします。1600には高度な露出アルゴリズムがあり、基板の歪みやピンホールを避けながら、エネルギーに敏感な基板の高解像度イメージングと高速ショット時間を実現します。また、密閉された318nm UVソースチャンバーを使用して画像の整合性を最大化し、精度の高いリソグラフィ処理には180ミクロンの最小解像度を提供します。VERTEQ 1600は、自動基板アライメントシステムを備えており、シームレスで再現性の高いバッチ処理と生産性の向上を可能にします。ユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスにより、バイアスフィールドの修正、絞り制御、定量分解能および等方性制御など、ジョブ固有のタスクのプログラマビリティが容易になります。さらに、1600は複数の形態の基板モーションコントロールをサポートし、従来のシステムよりも複雑なパターンを複製することができます。さまざまなプロセスと機能により、VERTEQ 1600はあらゆるタイプのアプリケーションに対応する汎用性の高いツールとなります。プリント基板、フラットパネルディスプレイ、高解像度リソグラフィ、半導体デバイス、光学デバイスの製造に広く使用されています。さらに、1600は最大のエネルギー効率と持続可能性のために設計されており、スマートオペレーションユニットを搭載しており、有害な廃棄物や排出物はありません。この機械も容易に拡張可能であり、研究、教育、産業プロセスに最適です。