中古 CANON FPA 5500 iZ #9274953 を販売中

CANON FPA 5500 iZは、半導体業界で使用される集積回路（IC）や、メモリチップ、プロセッサ、LEDなどのマイクロエレクトロニクスデバイスの製造に使用されるウェハステッパーです。高度な設計により、幅広いデバイスでのプロセス精度と再現性のばらつきを最小限に抑えることができます。iZはステップアンドスキャンシステムで、レチクル（回路の設計パターンが格納されているマスク）とウェーハを2段階で水平に動かすことができます。最初のステップは「プリアライメント」と呼ばれ、レチクルはウェーハ上に正確に配置されます。2番目のステップは「スキャン」と呼ばれ、「露出」ビームと呼ばれるレーザービームがレチクルからウェーハにパターンを投影するために使用されます。CANON FPA 5500IZは、最大分解能0。25ミクロン（ミクロンの1/4）で動作し、1桁のナノメートル範囲（すなわち10nm未満の偏差）で最大繰り返し精度で動作することができます。複数の画像を結合して、0。25ミクロンの解像度で大きなレチクルパターンを再現できるハイエンドイメージステッチ機能を備えています。iZはまた、高度なアライメント機能の範囲を提供しています。これには、精度と再現性を確保するためのレチクルとウェーハのアライメントが含まれます。ウェーハ上の一連の類似フィールドの相対位置決めを行う機能。ジャストインプレイス（JIP）モードと同様に、ウェーハやレチクルの調整を必要とせずに、ウェーハとレチクルの正確かつ迅速なアライメントを可能にします。FPA-5500 IZは、デバイスの製造のための高速で信頼性が高く、高性能なプラットフォームであるように設計されています。イメージングシステムの高精度と柔軟なアライメントシステムにより高速なサイクルタイムを実現し、再現性と正確なフィールド配置を可能にします。さらに、カスタマイズ可能なウェーハチャック、光ファイバ照明システム、直感的なユーザーインターフェイスなど、さまざまな機能を提供しています。FPA 5500IZは、さまざまなマイクロエレクトロニクス製造プロセスに適した堅牢で高精度なウェハステッパーです。最高レベルの精度と再現性を目指して設計されており、ICやその他のマイクロエレクトロニクスデバイスの製造に最適な高度な機能を多数提供しています。