中古 CANON FPA 5500 iZ #9235467 を販売中

CANON FPA 5500 iZは、優れたイメージング性能と精度を実現するために設計された高度なウェーハステッパーです。本装置は、深紫外線（DUV）リソグラフィ技術を用いてマイクロチップなどの半導体デバイスを処理する窒素ガス冷却ステッパーです。キヤノンFPA 5500IZは、多層設計、高効率イルミネーションユニット、ロータリーエンコーダで構成される高精度のメインイメージングシステムを備えています。多層設計は、エッジコントラストを高めるためにバックグラウンドライトを部分的に吸収しますが、高効率照明マシンは正しい交互イメージングレベルを中継するのに役立ちます。一方、ロータリーエンコーダは正確な位置情報を提供します。FPA-5500 IZはまた、0。00024nmライン精度の0.0050µmセル精度を備えているため、パターン配置精度が高くなります。また、0。5nmのCD均一性と0.0015µm画像精度を備えており、優れた画像処理性能を実現しています。さらに、このツールの照明光学系は、0。60の数値開口部を持つ5倍の還元光学系を使用しています。FPA 5500IZの高性能イメージングと精度は、調整エラーを最小限に抑える自動校正によってさらに向上します。また、素早い露出とシェーディング補正を可能にするファストトラックアセット、オートステージパターンアライメント、および最適なイメージングフォーカスを維持するためのオンアクシスオートフォーカスモデルなど、さまざまな外部コントロールを備えています。また、空冷による粒子荷重の低減や、粒子を0.1µmに小さくした効果的な空気ろ過を実現しています。FPA 5500 iZの全体的な設計は耐久性と信頼性が高く、低圧（6パスカル）がチャンバーにあります。このシステムは、優れたイメージング性能、精度、信頼性を提供することにより、複雑な画像を正確に作成する必要がある人にとって理想的な選択肢です。