中古 CANON FPA 5500 iZ+ #9247814 を販売中
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CANON FPA 5500 iZ+は、高度なリソグラフィやその他の半導体アプリケーションに最適な高精度ウェハステッパーです。ウェーハサイズの広い範囲で動作するように設計されており、2Dおよび3Dリソグラフィをより正確かつ効率的にするために、機能と性能の革新的な進歩を誇っています。CANON FPA-5500IZ+は、より大きな視野を可能にする大型スキャンステージを搭載し、1露光ポイントにつき1ナノメートルまでの分解能で複数の露光フィールドを実行することができます。これにより、ウェーハ処理がタイリングやミスアライメントの影響を受けないようになります。このマシンは、ウェーハ全体に均一な露出と均質性を確保するために、高精度の同期Zシフト機能を使用しています。ウェーハステッパーには、体系的なエラーや歪みを排除するための最新の修正を装備することもできます。これには、高度な画像補正、レーザーオートフォーカス、および正確なフォーカシングとイメージングを保証するソフトウェアベースの登録制御が含まれます。さらに、FPA 5500 IZ++には、特許取得済みのピクセル制限照明、線形偏光フィルター、可変角フィールドサイズ、その他の多くの機能など、最新の照明および露光技術が装備されています。これにより、印刷物が正確かつ正確に露出され、画像の異常や異常はありません。さらに、機械は高度なオーバーレイ補正を組み込み、多層処理における最小レベルの誤差を確保します。CANON FPA 5500 IZ++には、高精度のサーボモータと、高度なウェハ転送とスループット時間を実現する独自のウエハトラッキングシステムとデータ通信モジュールが搭載されています。これにより、ウェーハ処理が高速かつ効率的であり、機械に過度の摩耗を引き起こすことなく、最後に、ウェーハステッパーは、24/7サービスチームと世界クラスのカスタマーサポートによってサポートされています。これにより、マシンに関する問題が迅速に解決されます。全体として、FPA-5500IZ+は、深刻なリトグラファーや半導体メーカーにとって理想的な選択肢です。これは、伝統的なリソグラフィに関連する通常の問題のどれもなく、正確で正確なウェーハ処理を保証するように設計された幅広い機能を誇っています。
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