中古 CANON FPA 5500 iZ #293659682 を販売中

ID: 293659682
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2001
i-Line stepper, 8" Reticle, 6" Uniformity: 2.666% Intensity: 20,707 w/m² Inline: Left to right 2001 vinatge.
CANON FPA 5500 iZは、半導体産業におけるマイクロプロセッサなどの高精度部品の製造に使用される先進的なウェハステッパーです。ウェーハ上に半導体パターンを正確に形成できる先進的な装置設計を備えています。マシンは、統合されたUV露出システムと大規模な、フラット、X-Yステージを持っています。パターン形成時の精度を確保するため、正確なアライメントとウェーハ位置決めが可能です。また、高精度で高解像度のレチクルステージを備えており、手動で調整することなく、1つのウェーハから次のウェーハまでパターンを正確に繰り返すことができます。ウェーハステッパーには、加工する材料に応じて最大900mJ/cm2の露出を達成できる高度な露出ユニットがあります。露光装置は、外部光源からの干渉の可能性を低減するために、研究グレードの光学系および発光ダイオード(LED)を採用しています。フォトリソグラフィープロセスを強化し、ウェーハ表面にフォトレジスト材料を堆積させます。このプロセスにより、目的のマイクロプロセッサやその他のコンポーネントを作成するために使用される微細なパターンの形成が可能になります。このプロセスは高精度で、最小フィーチャーサイズは100ナノメートルです。データ管理ツールがマシンに統合されているため、マシン、その周辺機器、およびホストコンピュータ間のデータ転送が容易になります。これにより、マシンによって作成されたデータが正確かつ一貫していることが保証されます。CANON FPA 5500IZは、シリコンウェーハやガリウムウェーハなど、さまざまな材料の加工も可能です。このアセットは、多くの種類のフォトマスクやその他のウェーハ製造ツールと互換性があるように設計されています。全体として、FPA-5500 IZは半導体業界で最も要求の厳しいプロジェクトのニーズを満たすように設計された高度で高精度なウェーハステッパーです。その高度な機能とモデル設計は、信頼性と正確なウェーハステッパーを求める人にとって理想的な選択肢です。
まだレビューはありません