中古 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #9203957 を販売中

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ID: 9203957
CMP Wafer polisher system.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472ウェーハ研削、ラッピング&研磨装置は、高度な基板の生産のための汎用性の高いツールです。モジュール設計によって、この機械はプロセス条件の広い範囲を満たすためにカスタマイズすることができます。IPEC 472は、高精度で調整可能なワークテーブル、強力な研削/ラッピング/研磨スピンドル、正確なエアベアリング、動きを制御するための対称的で剛性のあるサポート、および自動高さ調整による電力制御フィードレートを備えています。WESTECH 472のスピンドルは高速ブラシレスDCモーターで駆動します。雑音や振動を最小限に抑え、一貫したトルクで高速化を実現します。線形軸受は非常に精密であり、機械が非常に高いレベルの精度を達成することを可能にします。主軸は、スピンドルの正確かつ正確な位置決めを提供するエアベアリングによって両側にサポートされています。472は、高度なプログラマブルロジックコントローラ(PLC)を使用して、自動送り速度と高さ調整システムを制御します。これにより、機械は複数の軸と正確な動きを創造的に利用することができます。さらに、ヒーター制御硬化オーブンを使用して、研削、ラッピング、研磨前に基板をワークに熱的に接着します。SPEEDFAM 472はまた、ウェーハのラッピングと研磨に最先端の冷却メディアを使用しています。これは、様々な研磨条件やダイヤモンドラップにメディアを転送する単軸メディア輸送ユニットが装備されています。IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472は、様々な工程に適正な電力を供給する能力により、振動を効果的に低減し、研磨中も均一な圧力を維持します。IPEC 472ウェーハ研削、ラッピング&研磨機の信頼性の高い動作を確保するためには、機械のメンテナンスが不可欠です。everdayの使用の後で、すべての部品は完全にきれいになり、損傷および不適当な使用の証拠のために点検されるべきです。さらに、マシンがピーク効率で動作していることを確認するために定期的なメンテナンスが必要です。適切な潤滑と摩耗したコンポーネントとスピンドルベアリングの交換は、機械のダウンタイムを最小限に抑え、さらに寿命を延ばすことができます。結論として、WESTECH 472ウェーハ研削、ラッピング&研磨ツールは、高度な基板材料を製造するための高性能機械です。強力なスピンドル、高度なPLC制御、効率的なメディア転送などの機能を備え、最も要求の厳しいプロセスのニーズを満たすように設計されています。適切なメンテナンスにより、472は信頼できる結果で一貫して実行できます。
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