中古 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #9242698 を販売中

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472は、半導体ウェーハの高精度表面仕上げ用に設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。300馬力のモーターを搭載したIPEC 472は、回転式研削およびラッピングプレート、またはリニアラッピングおよび研磨プレートなど、さまざまなプラテンで使用できるユニバーサルドライブプレートを備えています。このシステムには4つの独立したワーキングピースがあり、複数のウェーハの同時研削、ラッピング、研磨が可能です。このユニットは、交換研削、プランジ研削、クリープフィード研削など、複数の研削モードを備えています。交換研削を使用して、表面材料を固定送り速度で優しく研削し、表面仕上げ精度を向上させます。プランジ研削モードでは、指定した深さまで研削することができます。クリープフィード研削法は、大型部品の大量加工に使用され、優れた表面仕上げを確保しながら高速在庫除去を提供します。高圧クーラント機を使用することで、高品質除去率も実現できます。WESTECH 472のラッピング機能は電子変位ツールによって強化され、ラッププラテンの圧力を継続的に監視および調整して最大の表面仕上げ精度を保証します。このアセットは、非磁性部品の静電チャック、または磁性部品の真空チャックに使用できます。SPEEDFAM 472の最終段階は、再循環の振動媒体を使用して超滑らかな仕上げを実現する研磨プロセスです。振動メディアは、特許取得済みのサーボモーションコントローラによって制御され、複数の部品にわたって最大の精度と再現性を保証します。コントローラはまた、ウェーハの詳細な検査を可能にする光学排出モデルを備えています。472は、半導体ウェーハ上の高精度表面の研削、ラッピング、研磨に最適なソリューションです。その強力なモーター、汎用性の高い研削およびラッピングモード、および精密な研磨機能により、要求の厳しいアプリケーションに最適です。