中古 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #9259783 を販売中

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472は、高精度、高品質のウェーハを製造するように設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、高度なエアフロー設計を使用して、処理中のほこりや空気中の粒子を制御し、ウェーハの整合性と再現性を向上させるためにいくつかのユニットを強化しています。主な特徴は高精度の回転スピンドルで、非常に小さなサイズの高品質のウェーハを製造するように設計されています。このスピンドルは、最大100 revs/秒の制御可能な角度加速度と2000年の最大スピンドルRPMを備え、非常に高い精度を提供します。また、ウェーハの表面仕上げと形状を正確に測定し、再現性と精度を確保するための高度なセンサーを備えています。アセットには2つの搬送段があり、ローディングステーションから研削/ラッピング/研磨ヘッドにウェーハを移動するように設計されています。第1段階はウェーハを持ち上げて移動させるための真空、第2段階は高度なエアサスペンションモデルを使用してウェーハをステーションからステーションに転送します。振動や空気の乱れをなくし、ウェーハの損傷が少なくスムーズな仕上がりを実現します。また、研削/ラッピング/研磨プロセス中に各ステーションで一貫した温度を維持するために使用することができるオプションの冷却ユニットがシステムに含まれています。これにより、熱効果が発生しないようにし、ウェーハが同じ温度で一貫して処理されるようにします。最後に、マシンは、リアルタイムデータ分析、プロセスパラメータ制御、およびプロセス履歴管理を提供する高度なインターフェイスによって制御されます。これにより、プロセス精度、再現性、トレーサビリティが向上し、すべてが高精度のウェーハ処理に不可欠です。結論として、IPEC 472は、高精度で高品質のウェーハを製造するために特別に設計された高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨ツールです。独自の設計、高度な機能、アセットの強化により、一貫して正確で反復可能で追跡可能なプロセスが保証されます。これらはすべて、高精度ウェーハの製造に不可欠です。