中古 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #9384486 を販売中

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472ウェーハ研削、ラッピング&研磨装置は、研磨プロセスを使用して半導体ウェーハの表面を効率的かつ正確に処理する多機能マシンです。生産用途向けに設計されており、多くの半導体企業で使用されています。IPEC 472研削システムは、サーボモータを駆動するロータリーウェーハベルトと可動プラテンで構成されています。ロータリーウェーハベルトは、ウェーハ表面を均一かつ正確に加工するように設計されています。ウェーハアンチチャックデバイスグリッパーは、ウェーハが安全に配置されていることを保証します。プラテンは、ウェーハを所定の位置に保持し、ベルトに沿って正確に移動するために使用されます。プラテンは、ウェーハ表面に必要な力のレベルを適用するためにも使用されます。ウェーハの表面は研磨ベルトまたはラッピングディスクで磨くことができます。WESTECH 472ユニットは、単一または複数のウェーハを同時に研削、ラッピング、研磨する機能を持ち、手動またはフルオートメーション制御をサポートします。プログラム可能なモーションコントロールマシンを備えており、一貫した反復可能な結果とウェーハの完全自動ロードとアンロードを保証します。制御ツールは、圧力、回転速度、およびウェーハ処理パラメータの再現可能な調整のための目標値を設定することができます。472アセットは安全で効率的な操作を保証するように設計されており、インターロックモデル、Eストップ、緊急停止などの安全機能が装備されています。このインターロック装置は、人員とウェーハがない場合に偶発的な動作を防ぎます。また、粉砕工程で発生した粉塵や破片を取り込み、安全で清潔な作業環境を確保するための集塵システムも用意されています。SPEEDFAM 472ウェーハ研削ユニットは、半導体ウェーハの表面を効率的に処理する効果的な方法です。機械は生産の使用のために設計され、自動化されたローディングおよび荷を下す機能があり、精密で、反復可能な結果を提供します。様々な研磨プロセスをサポートする多機能機械であり、効率的かつ安全な操作のための安全機能を内蔵しています。