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ULVAC SME-200U #9392580

ULVAC

SME-200U

Sputtering system, 6" Power supply: 200 V ±10%, 60 Hz, 36 kVA, 104.1 A, 3-Phase 2006 vintage.
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ULVAC SME-200U #9107279

ULVAC

SME-200U

ALN Sputtering System, 2009 vintage.
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