中古 ULVAC SME-200U #9107279 を販売中

ULVAC SME-200Uは薄膜工学で使用するために設計された高性能スパッタリング装置です。このシステムは2つの独立した電源を備えており、それぞれにコントローラが内蔵されており、最大200Wの結合電力を提供し、最大DC電流は400mAです。これにより、貴金属、誘電体、セラミックス、半導体材料など多種多様な材料を様々な厚さと蒸着速度で堆積させることができます。ULVAC SME 200 Uは、4点式マグネトロンスパッタリングガン構成を採用しており、優れた材料使用とプロセスの均一性を実現しています。4ポイントソース設計により、複数のターゲットを統合し、異なる材料の層を同じサイクルで堆積することができます。このユニットはまた、高圧および高温下でのパフォーマンスを向上させるために特別に設計されたベルジャーチャンバーを備えています。このユニットは、超高真空（UHV）加工用に設計されており、荒削りポンプ、多段フォライントラップ、ガス精製機、高度な制御ツールなどの他の機能が含まれています。このアセットは、スパッタリングの汎用性の高いアプリケーションを可能にします。デュアル電源により、短い、広い、狭いなど、さまざまなパターンで材料を堆積させることができます。モデルの柔軟性はまた、平面および回転スパッタリングの両方のプロセスを可能にします。さらに、2つの基板を使用することで、マルチターゲット機能により、1回の回転で上下の層を同時に適用することができます。SME-200Uはさらに、反応性スパッタリングのための3ガス操作機能を備えており、ユーザーは追加のガスマニホールドを必要とせずにこのモードをプロセスに簡単に統合できます。この装置には真空診断機能が内蔵されており、安全性を高めるためのオフポンプアーク検出システムも搭載されています。最後に、プログラマブルオートメーションユニットにより、機械の信頼性と再現性が向上し、大量の操作に最適です。全体として、SME 200 Uは薄膜の堆積のための堅牢で信頼性の高いスパッタリングプラットフォームを提供します。デュアル電源と柔軟な構成により、高精度で再現性の高い多種多様なプロセスを実行でき、幅広い業界で貴重なツールとなっています。