中古 ULVAC SME-200U #9392580 を販売中
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ID: 9392580
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 2006
Sputtering system, 6"
Power supply: 200 V ±10%, 60 Hz, 36 kVA, 104.1 A, 3-Phase
2006 vintage.
ULVAC SME-200Uは、超低真空株式会社が開発したパワフルで信頼性の高いスパッタリング装置です。Ltd。(株)(ULVAC)。エレクトロニクス、自動車、航空宇宙、装飾コーティング、医療用途など、幅広い産業での使用を想定して設計されています。ULVAC SME 200 Uは、さまざまな基材に薄く均一な材料層を堆積させるのに効果的です。高度に自動化されており、システムとそのプロセスを正確に制御できるロボットコントローラを備えています。最大圧力範囲は200ミリリットル、チャンバーサイズは480mm×620mm SME-200U、大型基板の取り扱いが可能です。このユニットは、安全でユーザーフレンドリーであるように設計されており、安全で信頼性の高いスパッタリングマシンを必要とするアプリケーションに最適です。SME 200 Uは強力なDC/RF電源を搭載しており、均一で長持ちするスパッタ蒸着を保証します。また、幅広い材料を堆積するために使用することができるマグネトロンまたは平面ターゲットの選択肢を提供しています。さらに、このツールは、大気圧や最大10-4 torrの真空など、さまざまなガス流量レジームを提供します。また、基板の迅速な負荷と洗浄を可能にする負荷/アンロード資産も含まれています。ULVAC SME-200Uは、市場で最も先進的なスパッタ蒸着システムの1つになるいくつかの高度な機能を備えています。例えば、高度な診断機能とデータロギング機能を備えているため、スパッタ沈着プロセスを簡単に追跡できます。さらに、洗練されたRFマイクロ波パワーコントロールモデルは、スパッタリングプロセスを正確に制御し、プロセスを微調整して最適なスパッタリング結果を得ることができます。要約すると、ULVAC SME 200 Uは、高度で自動化された信頼性の高いスパッタリング装置であり、幅広い業界に最適です。正確なDC/RF電源制御、負荷/アンロードシステム、高度な診断およびデータロギングユニットなど、スパッタリングアプリケーションに最適なさまざまな機能をユーザーに提供します。安全で効率的でユーザーフレンドリーで、信頼性の高いスパッタリングマシンを必要とするアプリケーションに最適です。
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