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TRIKON / ELECTROTECH ND-6210 #9123644

TRIKON / ELECTROTECH

ND-6210

PECVD System, 6" Process: SiN-SiC (Sio2) Gases: CF4, O2, N2, N2O, SiH4, NH3, SiH4/Ar-5%, CH4 Manuals
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TRIKON / ELECTROTECH ND-6210 #9123641

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ND-6210

PECVD System, 6" Process: SiN-SiC (Sio2) Gases: CF4, O2, N2, N2O, SiH4, NH3, SiH4/Ar-5%, CH4 Manuals
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TRIKON / ELECTROTECH ND-6210 #9123640

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