中古 TRIKON / ELECTROTECH ND-6210 #9123644 を販売中

TRIKON/ELECTROTECH ND-6210は、詳細な多層蒸着用に設計された高性能スパッタリング装置です。このシステムは、オプトエレクトロニクス、ハイブリッドマイクロエレクトロニクス、太陽電池、ゲート誘電体、保護コーティング、および他の多くの物理蒸着プロセスなど、さまざまな用途に適しています。TRIKON ND-6210は、最大出力25kV、ピーク出力500Wの高度なDC電源ユニットを備えています。これにより、高電圧により堆積層の深さと均一性を完全に制御できるため、幅広い用途に適しています。ELECTROTECH ND-6210には、ターゲット電流、電圧、および/または電力の制御を可能にする独立した3期の制御マシンも含まれています。ND-6210は、沈着プロセス中に長期的な安定性を確保するための堅牢な機械構造を有しています。この構造には、信頼性の高い真空チャンバーと高精度のモーションステージが含まれています。真空チャンバーは、大容量の拡散ポンプと2段メカニカルポンプを備えた完全に統合された配電ボックスツールです。これにより、最大5 x 10-9 Torrのベースプレッシャーが可能になります。モーションステージは0。1ミクロンの低解像度で、サーボドライブモータで動作します。これにより、基板とターゲットの正確な位置決めが可能になります。TRIKON/ELECTROTECH ND-6210は直径10cmのスパッタターゲットを内蔵しています。ターゲットはセラミックスやグラファイトなどの高純度材料から作製され、直接蒸着に最適です。また、スパッタターゲットは、酸化物、窒化物、ケイ化物などの非金属材料をサポートすることができます。RF電源は、均一な層の厚さを可能にする正確な電力供給と制御機能を保証します。また、TRIKON ND-6210は直感的なユーザーインターフェイスでユーザーフレンドリーに設計されています。アセットには、タッチスクリーン、デジタルフィードバックインジケータ、プログラマブルプロセスレシピが含まれています。また、圧力、プロセス時間、ガス流量、電流などのプロセスパラメータを簡単に制御できます。これにより、スパッタリングプロセスを簡単に調整し、蒸着をリアルタイムで監視できます。全体として、ELECTROTECH ND-6210は、さまざまな業界の多層蒸着に最適な堅牢で高性能なスパッタリングモデルです。高度な電源装置、独立した3期の制御システム、堅牢な機械構造、スパッタターゲット、ユーザーフレンドリーなインターフェイスを備えたND-6210は、あらゆる精密蒸着アプリケーションに最適です。