中古 TRIKON / ELECTROTECH ND-6210 #9123641 を販売中
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ID: 9123641
ウェーハサイズ: 6"
PECVD System, 6"
Process: SiN-SiC (Sio2)
Gases: CF4, O2, N2, N2O, SiH4, NH3, SiH4/Ar-5%, CH4
Manuals included.
TRIKON/ELECTROTECH ND-6210は、さまざまな産業、実験室、研究用途で使用するために設計された高性能スパッタリング装置です。このスパッタ蒸着システムは、蒸着チャンバ、電磁駆動ターゲット、および関連する電源および制御システムで構成されています。また、ガス供給機と精密な真空制御により、優れた環境制御を実現しています。TRIKON ND-6210は、金属、半導体、メガネなどの基材や各種フィルム材料へのスパッタ成膜を制御します。このツールは、基材に薄膜を堆積させるための実証済みの技術であるマグネトロンスパッタリング技術を使用しています。このスパッタリング技術は、基板表面に磁石を爆撃し、必要な電源を供給することによって、必要な特性を持つ望ましい薄膜材料を作成します。ELECTROTECH ND-6210は、蒸着プロセスの正確な監視と制御のために最先端の電子制御システムを使用しています。このアセットには、スパッタリング条件を維持および最適化するための温度および圧力センサが含まれています。ND-6210は、反応性および不活性ガスの精密な流量制御により、新たなレベルへの蒸着を行います。このモデルは、ポリマー蒸着、スパッタエッチング、マルチターゲット構成にも使用できます。さらに、シリコン、セラミック、薄膜太陽電池材料など、さまざまな基板を組み込むことができます。TRIKON/ELECTROTECH ND-6210は、高品質のスパッタリングシステムをお探しのお客様に手頃な価格で効率的なオプションです。このシステムは、優れたプロセス制御、自動化された操作、堆積膜の優れた均一性など、さまざまな機能と利点を提供します。この単位は信頼性が高く、いろいろな産業および研究環境の優秀な性能を提供します。
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