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FE IV
Thickness measurement system, 8" Process capability: 11µm, 13µm, 15µm, 18µm, 25µm, 35µm Load lock PC
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Focus ellipsometer Light source: HeNe laser: 632.8 nm Laser diode: 780 nm Spot size: Test site:
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Thickness measurement system, 8" 1995 vintage.
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