中古 RUDOLPH FE IV #293830949 を販売中
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ID: 293830949
ヴィンテージ: 1995
Thickness measurement system
Process capability: 0.11µm, 0.13 µm, 0.15 µm, 0.18 µm, 0.25 µm, 0.35 µm
Light source:
HeNe laser: 632.8 nm
Laser diode: 780 nm
Spot size:
Test site: 12x24 µm
De-skew: 125 µm
Site by site: 50 µm
Pattern recognition:
Optional pattern recognition
Edge / gray scale detection
Manual / auto de-skew
Reteach
Wafer handling:
3-Axis robot
(3) cassettes: 100 mm to 200 mm
Pre-aligner:
Virtual flat / notch finder
X, Y Centering: ±50 μm
Theta: ±0.1°
De-skew: ±5 µm
Stage:
Accuracy: 7 µm over 200 mm
Repeatability: ±1 µm
1995 vintage.
RUDOLPH FE IVは、材料の光学特性を測定するために使用されるツールである楕円偏光計、別名楕円偏光器です。RUDOLPH FE-IVは、膜厚、屈折率、吸収率、反射率、表面粗さ、誘電定数、偏光など、さまざまな測定に使用される正確で信頼性の高い楕円計です。また、そのアプリケーションをさらに拡張するための散乱、分光、イメージング機能の様々な機能を提供しています。このデバイスは、3つの主要なコンポーネントで構成されています。1つ目は、サンプルと相互作用する狭い光バンドを選択するモノクロメータです。この分光光源は試料の表面から反射され、部分的に屈折した光はWollastonプリズムを通過し、ビームを2つのコンポーネントに分割します。その後、各ビームの強度が記録される検出器に焦点が当てられます。このデータから、楕円計はサンプル材料の光学特性を決定することができます。FE IVは、金属や半導体からガラスやポリマーまで、幅広いサンプル材料に適用可能です。モジュラー設計により素早く簡単にセットアップでき、ラボやフィールドベースの測定に適しています。FE-IVには自動サンプルスキャンも装備されており、より高速で効率的な測定が可能です。RUDOLPH FE IVは、角度分布や地形から厚さ、フィルム特性、散乱まで、幅広い測定が可能です。RUDOLPH FE-IVはイメージングにも使用できます。顕微鏡と光学アダプタを使用して、肉眼では見ることのできない粗さや欠陥など、表面の詳細な画像化や分析に使用できます。その強力なイメージング機能により、FE IVを使用して、材料の光学特性をより詳細に理解することができます。FE-IVの直感的なソフトウェアプラットフォームにより、設定と使用が簡単になります。これは、進行中の実験を監視し、データを収集し、結果を解釈するために使用することができます。ソフトウェアはまた、ユーザーが手元のアプリケーションに自分の測定値を調整するためのパラメータと設定をカスタマイズすることができます。RUDOLPH FE IVは、さまざまな測定および用途に最適な先進エリプソメーターです。強力な光学およびイメージング機能を備えたこの機器は、材料の光学特性を迅速かつ正確に測定および分析するのに役立ちます。
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