中古 RUDOLPH FE IV #9271610 を販売中

RUDOLPH FE IV
製造業者
RUDOLPH
モデル
FE IV
ID: 9271610
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1995
Thickness measurement system, 8" 1995 vintage.
RUDOLPH FE IVは、RUDOLPH Technologies、 Inc。が設計した先進エリプソメーターです。薄膜や小粒子などの材料の光学特性を測定するために設計された強力な分析ツールです。この装置には、高速測定用のユニークな大面積サンプルチャンバーや、サンプルの高速スキャンを可能にするカスタム設計のコンピューター制御ドライブ機器など、さまざまな洗練された機能が装備されています。この装置は、波長350〜1650 nmの光学系、サンプルステージ、および高速コンピュータ制御ドライブユニットで構成されています。通常、キセノン光源からの単一の光ビームが光学機械に組み込まれ、入射波と偏光反射波に変換されるサンプル段階に向けられます。反射波をCCDカメラで検出し、偏光角度を測定します。検出ツールは、検出された情報を、ミューラー行列の要素を計算するために使用される強度と位相マップに変換します。このマトリックスは楕円計のモデルに応じて2x2または4x4形式で生成され、サンプルの光学パラメータを計算するために使用されます。取得したデータは、RUDOLPH EllipsWerksソフトウェアなどの専用ソフトウェアパッケージを使用して分析およびさらなる操作を行うことができます。RUDOLPH FE-IVエリプソメータを使用することで、全反射率、絶滅係数、光吸収率、屈折率、コーティング厚、光学異方性などの材料への光散乱の影響を正確に測定できます。また、大型サンプルチャンバーにより、フィルムの地形や応力を素早く測定することができます。また、金属ドットなどの非透明サンプルの特性を測定するために使用することができ、さまざまな業界の研究用途に適しています。さらに、簡単な操作とユーザーの関与を最小限に抑えることができるため、トレーニングを最小限に抑えてさまざまなサンプルを迅速かつ正確に測定できます。FE IVエリプソメーターは、高精度、使いやすさと幅広い機能により、研究環境と製造環境の両方に最適なツールです。
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