中古 RUDOLPH FE IV #9398259 を販売中

RUDOLPH FE IV
製造業者
RUDOLPH
モデル
FE IV
ID: 9398259
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1995
Thickness measurement system, 8" 1995 vintage.
RUDOLPH FE IVは薄い材料の光学特性の正確な測定のために使用される光学楕円計です。このデバイスは、偏光を使用して光学パラメータをコーティングすることを可能にする4波長の機器です。10°から70°の広い範囲の発生角度を測定することができ、ほぼ正常での測定とオフプレーン発生に適しています。RUDOLPH FE-IVは、干渉フィルタホイール、複数の光検出器、および線形偏光器を使用して、正確な偏光パラメータを測定します。従来のFE III Ellipsometerモデルに比べて、レーザー光(633nm、 515nm、 488nm、 478nm)の4波長を使用して複数の角度からサンプルを測定することで設計が改善されています。これらの測定は、サンプルの光学定数を計算するために使用されます。この機器はベンチトップに設計されており、WindowsベースのAE Win-EVソフトウェアを使用して出力データを簡単に分析できます。このソフトウェアは、データから材料定数を抽出するのに役立つ強力なカーブフィッティングツールを備えています。また、サンプルプレートを内蔵しているため、ビーム軸の経路にサンプルを簡単に配置することができます。さらに、直感的なユーザーインターフェイスとグラフィカルディスプレイにより、FE IVは光学コーティング測定に最適です。このシステムは、堅牢性を念頭に置いて設計されており、メンテナンスが容易で長期的な耐久性を提供します。先進的な設計により、幅広い基板と極角にわたって正確な測定が可能です。全体的に、FE-IVは薄膜や表面の光学定数を測定するための信頼性の高い正確なシステムを探している研究者のために設計された汎用性の高い楕円計です。研究レベルの調査に必要な精度を提供し、実験室環境での使用に適しています。
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