中古品 MATTSON (ラピッドサーマルプロセッサー) を販売中

Mattsonは半導体産業で使用される革新的な急速な熱プロセッサ（RTP）の有名な製造業者です。RTPは、拡散、酸化、アニーリングなどのさまざまなプロセスの特定の温度に対してウェーハを急速に加熱および冷却するため、半導体製造において重要なステップです。AST 3000やHELIOS 3000などのMattsonのRTPモデルは、精度と効率を保証する最先端の技術と高度な機能を提供します。これらのアナログは、高速加熱と冷却速度、優れた温度均一性、正確なプロセス制御、高スループット機能など、共通の利点を共有しています。AST 3000は、その汎用性で知られている人気のあるモデルであり、急速なサーマルアニーリング、低温酸化、金属アニーリングなどのさまざまなプロセスモジュールを可能にします。それは例外的な温度の均等性および精密なプロセス制御を提供し、高い収穫および装置性能を保障します。HELIOS 3000は、優れた加熱と冷却速度を提供するMattsonのもう1つの成功したモデルであり、熱予算の削減とプロセス性能の向上を可能にします。シリサイド形成、選択的エピタキシー、金属リフローなどの高度な用途向けに設計されています。Mattsonの急速な熱プロセッサは、世界中の主要な半導体ファブや研究機関で広く使用されています。信頼できるパフォーマンス、革新的な機能、および業界の厳しい要件を満たす能力で信頼されているため、MattsonはRTPソリューションの好ましいメーカーです。