中古品 TEL / TOKYO ELECTRON (ラピッドサーマルプロセッサー) を販売中

TEL（東京エレクトロンリミテッド）は、半導体・フラットパネルディスプレイ製造装置のリーディングメーカーです。TELは、半導体業界で広く使用されている高速サーマルプロセッサ（RTP）を製造しています。RTPは、半導体ウェーハを急速に加熱・冷却し、チップ製造工程の様々な工程を容易にする熱処理です。TELの急速熱処理装置は、従来の炉ベースのシステムに比べていくつかの利点があります。まず、精密で均一な加熱を提供し、プロセスパラメータの制御を向上させ、ウェハの品質とデバイス性能を向上させます。第二に、RTPはプロセス時間を短縮し、全体の生産時間を短縮し、スループットを向上させます。さらに、高度にカスタマイズ可能で、プロセスエンジニアはさまざまな材料やデバイス構造の設定を最適化できます。TELの高速サーマルプロセッサの例はAlpha-8S-ZARです。このモデルは高度の温度調整および暖房の均等性を提供し、優秀なプロセス再現性を保障します。ウェーハ表面全体に効率的かつ均一な加熱を実現するマルチゾーンランプ設計を特徴としています。さらに、優れた温度上昇とクールダウンレートを提供し、処理時間の短縮を可能にします。TELのAlpha-8S-ZARを含む急速熱処理装置は、急速熱アニーリング、化学蒸着、酸化などの製造プロセスで広く使用されています。その高度な機能と高性能は、精密かつ効率的な熱処理を実現するために半導体メーカーの間で人気のある選択肢となっています。