中古品 AXCELIS / FUSION (ラピッドサーマルプロセッサー) を販売中

Axcelisは半導体業界で著名なメーカーであり、RTP （Rapid Thermal Processor）に特化しています。RTPシステムの融合ラインは、高度な温度制御とプロセスの均一性を提供し、さまざまな半導体製造プロセスのための正確な加熱と冷却サイクルを保証します。AxcelisのRTPは、従来の加工方法に比べていくつかの利点があります。第一に、彼らは急速な熱アニーリングを提供し、従来の炉よりもはるかに速く、より正確に高温を提供します。この機能により、サイクル時間が大幅に短縮され、全体的な生産性が向上します。さらに、AxcelisのFusion RTPは、優れたプロセス柔軟性を提供し、ドーパント活性化、シリサイド形成、酸化物成長など、幅広い用途に適しています。AxcelisのFusion RTPシステムには、Integra RS、 800S、 Summit 200などがあります。Integra RSは、フロントサイドとバックサイドの両方の暖房機能を提供する汎用性の高いシステムで、最適な均一性を確保します。この800Sは、優れた温度制御と低エネルギー消費で知られる高性能RTPです。最後に、Summit 200は超浅いジャンクション形成用に設計されており、優れたプロセス再現性を提供します。全体として、AxcelisのFusion RTPは、熱処理のための精密かつ効率的なソリューションを半導体メーカーに提供し、デバイスの性能と歩留まりを向上させます。