中古品 NPS (ラピッドサーマルプロセッサー) を販売中

NPSは、その最先端の技術と信頼性の高い性能で広く認識されている急速なサーマルプロセッサ（RTP）のリーディングメーカーです。RTP （Rapid Thermal Annealing （RTA）システム）は半導体製造プロセスで使用され、半導体デバイスの品質と歩留まりを向上させます。NPS RTPの主な利点の1つは、高速加熱および冷却サイクルを提供し、アニール温度と時間を正確に制御できることです。これにより、ドーパントの活性化、欠陥密度の低下、半導体材料の電気特性の向上が得られます。また、NPS RTPは優れた温度均一性と安定性を提供し、複数のウェーハにわたって一貫した処理を保証します。NPSは、さまざまなプロセス要件に合わせてさまざまなRTPモデルを提供します。例えば、RHP440は、コンパクトな設計と費用対効果の高いソリューションを備えたエントリーレベルのRTPです。一方、RHP 620はより高度なモデルであり、より高いスループット、柔軟性、高度なプロセス制御機能を提供します。NPSの高度なRTPの例はRHP 620 AVPで、リアルタイム温度監視用の統合マルチチャンネルピロメトリシステムを備えています。これにより、要求の厳しいアプリケーションでもアニーリングプロセスを正確に制御できます。さらに、RHP 620 AVPは、プロセス条件を最適化し、汚染を最小限に抑える優れたガスフロー管理を提供します。全体として、NPS急速熱処理装置は信頼性が高く、効率的で汎用性が高く、さまざまな半導体製造アプリケーションに最適です。