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GCA ALS #35132

GCA

ALS

Stepper, G-line (Ziess 10-78-46), 5X reduction, .38NA, .9um resolution, configured for 6" wafers and
272
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GCA ALS #293639853

GCA

ALS

I-Line wafer stepper Illumination uniformity: <= 2.5% Maximum stage travel: 200 mm System resolution
136
GCA ALS #9105350

GCA

ALS

Wafer stepper.
141