中古 GCA ALS #35132 を販売中

GCA ALS （Application Light Source）は、フォトリソグラフィに使用されるウェハステッパーです。半導体ウェーハなどの材料を製造するための高精度の光学イメージングとパターンアライメントを提供します。ALSは、オリジナルのフォトマスクの最大6,000nmの照明と最大10,000nmの画像解像度を持つ8 チャンネルLEDシステムを備えています。GCA ALSは、フォトマスクからウェーハ表面への光の正確なアライメントを保証する高度な光学輸送システムを利用しています。これは、イメージング結果が正確でエラーのないことを保証するために行われます。ALSには、非金属および非酸化物マスキング層のアブレーション用の特別なレーザーエネルギー源も装備されています。全体として、GCA ALSは半導体材料の製造に関連するさまざまなパターン処理が可能です。ALSマシンにより、高解像度イメージングや高度なマスクアライメントなどの高度な機能を実現します。このマシンには、多層スタックウェーハハンドリングシステムも装備されており、ユーザーに幅広い防塵および欠陥除去オプションを提供します。スループットと精度を向上させるために、GCA ALSには真のマイクロステッパスキャンメカニズムが搭載されており、単一の露光フィールド内で正確に最適化された動作を可能にします。さらに、ALSは埋め込まれたレーザーマーキング技術により、位置とフォーカスレイヤーの両方をリアルタイムでエラー検出および補正することができます。また、GCA ALSは、集積回路（IC）製造の全段階におけるプロセスレシピの導入をサポートしており、幅広い用途に最適なプロセスの開発が可能です。このマシンは、最新の光学イメージング技術で利用可能な最高のスループットと精度を備えています。全体として、ALSは精密イメージングと半導体材料の製造のためのスキャンを提供する洗練された機器です。統合された光トランスポートおよびレーザーソーステクノロジーにより、エラーのない結果が得られ、さまざまな機能が利用できるため、幅広いアプリケーションに最適です。