中古 SEZ / LAM RESEARCH DV PRIME #9239260 を販売中

SEZ/LAM RESEARCH DV PRIMEは、多種多様な基板のエッチングやアッシュコーティングに使用される、コンパクトで汎用性の高い半自動バッチエッチング/灰処理装置です。このシステムは、スルーホール、バックドリルエッチング、鉛の変形、表面実装はんだバンプなど、多くのアプリケーションのエッチング/アッシュ用途に最適です。このユニットは、信頼性が高く、再現性が高く、一貫性のある処理結果を提供し、高収率のウエハ生産を可能にします。SEZ DV PRIMEは、精密かつ再現性の高いプロセス制御のために設計された精密工具を備えた4軸ロボットアームを備えています。ロボット自動化には、ガス、液体、スプレー材料の正確かつ正確な配信を提供する統合ガスおよび液体配送機が含まれています。ガスと液体の供給ツールは、専用の真空サブシステムによってさらに補完され、プロセス中の精密な真空制御を可能にします。LAM RESEARCH DV PRIMEには、気体および液体のエッチング/灰プロセスの両方に、プロセスの均一性を最大化するためのシールド環境を提供するように設計されたエッチング/アッシュチャンバーがあります。Etch/Ash Chamberは、粒子やガス外の部品を最小限に抑え、プロセスの汎用性を提供するように設計されています。独自のソフトウェアを実行している産業強度コンピュータによって制御される資産。このコンピュータは19インチの完全な産業用タッチパネルによって管理されており、使いやすさと繰り返し可能なプロセス結果を得るために使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスを提供します。加工レシピはモジュール式で、幅広い基板や材料のプロセスパラメータ最適化が可能です。このモデルは、バッチ処理または継続処理の両方をサポートし、ソフトウェアオプションでアップグレード可能であり、保存寿命、スループット、およびプロセス全体のパフォーマンスを向上させます。データ管理装置は品質保証のデータ監視およびデータ収集を可能にします。DV PRIMEは、半導体クリーンルーム環境に最適なシステムです。フットプリントが小さく、消費電力が少ないため、半自動の実験室環境での使用に適しています。このユニットは、ISO、 SEMI、 OSHAなどのさまざまな安全および環境基準を満たしており、従業員と環境の健康と安全を確保しています。