中古 SEZ / LAM RESEARCH DV PRIME #293754190 を販売中

SEZ/LAM RESEARCH DV PRIMEは、半導体デバイス製造用に特別に設計されたエッチャー/アッシャーです。これは、非常に高いスループットで基板の信頼性、再現性、正確なエッチングまたはアッシングをユーザーに提供するバッチプロセス機器です。このシステムには、新しい強力で直感的なWindowsオペレーティングユニットが装備されており、ユーザーはバッチプロセスパラメータを簡単かつ効率的にプログラミングできます。このマシンは、基板ホルダー内の任意の数の基板を処理することができ、ユーザーはツール内で自分の希望のバッチサイズをプログラムすることができます。また、基板の積み降ろし用の自動化されたリフトと、0。2ミクロンの線幅までスループットを下げるための内部真空チャックも備えています。また、組み込みプログラマブルロジックコントローラ（PLC）を備えており、ユーザーは個々のエッチング/アッシュプロセスをプログラムおよびデータログ化できます。SEZ DV PRIMEは、独自のドリップオンデマンドおよびパルス火災レーザー放電源により、高性能エッチング機能を備えています。排出は、ユーザーに無汚染、高精度のエッチング/灰プロセスを提供するカスタムビルドのチャンバーに収容されています。このチャンバーには高度な排気アセットが装備されており、チャンバー全体で高速な均一なガス流量を可能にし、一貫した信頼性の高いエッチングまたはアッシング結果を提供します。安全面では、エッチャー/アッシャーには、乗員保護用の蓋インターロックモデル、圧力漏れセンサー、ガス安全遮断制御、温度警報装置など、複数の安全システムが装備されています。これにより、システムは最新の安全規制および規格に準拠していることが保証され、ユーザーにとって安全で安全なエッチングおよびアッシングユニットとなります。全体として、LAM RESEARCH DV PRIMEは、半導体デバイス製造用に特別に設計された高度なエッチャー/アッシャーです。このマシンは、非常に高いスループットを持つ基板の正確で信頼性が高く、繰り返し可能なエッチング/アッシング用に設計されています。新しいWindowsオペレーティングツールが装備されており、安全で準拠した操作を保証するために複数の安全システムがあります。