中古 SEZ / LAM RESEARCH DV PRIME #9211223 を販売中

SEZ/LAM RESEARCH DV PRIMEは、高度で信頼性が高く、コスト効率に優れたエッチャー/アッシャーです。これは、様々な堆積、エッチングおよびアッシング工程のための統合ソリューションを提供します。エッチャー/アッシャーには、強力な中間周波数、パルス、多周波RF電源、長寿命チャンバ、および自動化されたプロセス制御および監視が装備されています。SEZ DV PRIMEは、200mmから450mmまでのウエハサイズの範囲をエッチングおよびアッシャーできます。また、マルチユースチャンバーを備えており、マルチレベル処理が可能です。このチャンバーには、酸素、塩素、フッ素、SF6、 NF3などの複数のエッチング化学物質や、シリコン、酸化ケイ素、窒化ケイ素、ポリシリコン、ヒ素ガリウム、ゲルマニウム、銅などの幅広い基板材料を装備することができます。自動化されたプロセス制御および監視機能により、エッチング時間が短縮され、再現可能なプロセス結果が得られます。チャンバーはファン冷却され、さまざまな上下電極構成が装備されているため、独自のプロセスニーズに柔軟な設計が可能です。このチャンバーには、低負荷温度モニター、圧力監視装置、およびオプションのガスを供給するためのバブラシステムも備えています。不活性ガスは安全のために使用することができます。チャンバーには、プログラマブルフローガスコントロールユニットと-20°Cの最小達成可能な温度を備えた4チャネル温度コントローラもあります。機械はセリウムの証明およびANSIの証明を含む適当な安全規格に、従うように設計されています。LAM RESEARCH DV PRIMEエッチャー/アッシャーは、さまざまな大量処理ニーズに対応する信頼性と汎用性の高いエッチング/アッシングソリューションです。柔軟で自動化されたプロセス制御と監視機能により、エッチング時間を短縮し、再現性のあるプロセス結果を提供できます。そのファン冷却チャンバーとカスタマイズ可能な上下電極構成は、高精度のエッチングとアッシング機能を提供し、さまざまな基板に適しています。不活性ガスの安全ツールは、操作のための信頼性と安全性を高めます。この資産は、適用される安全基準に準拠するように設計されています。