中古 SEZ / LAM RESEARCH DV PRIME #293754189 を販売中

SEZ/LAM RESEARCH DV PRIMEは、高いアスペクト比の処理アプリケーションに優れたプロセス機能を提供するように設計された最先端のエッチャー/アッシャー装置です。3D IC、 MEMS、高度なロジック、ミックスモードアプリケーションなどの高度なテクノロジーノードに最適です。このマシンには、4インチの大型サーマルチャンバー設計が装備されており、より大きな容積スループット機能とサイクルタイムの短縮を提供します。チャンバ全体に配置された光学的およびその他のプロセス制御フィードバック装置により高精度を維持し、プロセスパラメータを正確に制御できます。また、高密度の等方性エッチング、高選択性エッチング、マルチレベルエッチングなど、さまざまなエッチングおよびアッシングアプリケーションに対応するさまざまなプロセスモードを備えています。このシステムには、2つの独立したハイエンドモジュレータが装備されています。SEZ/LAM SEZ DV PRIMEのマルチフィールドモジュレーション機能により、従来のシングルフィールドモジュレータよりもエッチングおよびアッシングプロセスの機能レベルの精度が向上します。さらに、高度なファジーロジックPID制御、in-situ角度制御、リアクティブエッチングなどのユニークな機能により、プロセス制御と精度が向上します。高度なエッチングとアッシング機能に加えて、LAM RESEARCH/LAM LAM RESEARCH DV PRIMEの柔軟なプロセス構成により、より高いレベルの最適化レシピが望ましい結果を得ることができます。さらに、そのin-situ RFマッチングモジュールは、各サイクルでのマッチングを確実にするのに役立ち、迅速で簡単なレシピのカスタマイズと微調整を容易にします。全体として、SEZ/LAM RESEARCH/LAM DV PRIMEは、高アスペクト比エッチングおよびアッシング用途向けに設計された高度な多機能エッチャー/アッシャーユニットです。独自の処理能力、プロセス制御、柔軟性を兼ね備えているため、3D IC、 MEMS、高度なロジック、混合モード技術など、さまざまな高度なアプリケーションに理想的なマシンです。