中古 SEZ / LAM RESEARCH DV PRIME #293754191 を販売中

SEZ/LAM RESEARCH DV PRIMEは、エッチング技術の最新の進歩と、精密アッシングおよびデプロセッシング用途向けの専用プラットフォームを組み合わせた、高度なエッチングおよびアッシング装置です。洗練されたモダンなデザインのSEZ DV PRIMEは、完全に自動化された高性能なアッシャーで、さまざまなウエハトリートメントに迅速で信頼性の高い再現性のある結果を提供します。LAM RESEARCH DV PRIMEは、HF、 KOH、 H2O2など、幅広いエッチング可能なオプションを提供しています。システムの効率的なプロセス技術は、歩留まりと生産性を最大化します。このチャンバーのクリーンツープロセス機能は、高速で信頼性が高く再現性の高い結果を提供します。ユニットの高度なチャンバー制御技術は、正確なエッチング濃度と温度を保証します。DV PRIMEは、高精度でクライアントカスタマイズされたプロセスアプリケーション向けに設計されています。機械内蔵のインテリジェンスコントローラは、柔軟なプロセス最適化を可能にし、圧力、温度、ガス濃度、エッチング率などのレシピパラメータを特定のプロセスニーズに合わせて調整できます。さらに、チャンバーの高精度温度制御により、究極のプロセス安定性を実現します。SEZ/LAM RESEARCH DV PRIMEの高度なオートメーションオプションは、設定が簡単で柔軟なツールをユーザーに提供します。ユニットの直感的なソフトウェアには統合されたディスプレイがあり、オペレータはレシピを直接監視、編集、制御することができます。このアセットは、自動サンプル処理用のロボットアームと統合することもでき、スループットを最大限に引き出すことができます。SEZ DV PRIMEは、エッチングおよびアッシングプロセスで最適な性能と信頼性を提供する高度なモデルです。その高度なプロセス技術により、精密なエッチング濃度と温度が保証されます。また、膨大なプロセスアプリケーションに適した柔軟性とオートメーションオプションも提供します。装置は研究および生産の場所の両方のための理想的な解決です。