中古 SPEEDFAM DSM 9B-5P-IV #9166344 を販売中

SPEEDFAM DSM 9B-5P-IVは、高度なエンジニアリングで設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置で、ウェーハを含むさまざまな基板で優れた結果をもたらします。全体的なシステムは、支持フレームワーク、ウェーハの積み下ろしシステム、個々のウェーハカセットを保持するキャリッジ、光学表面測定装置、研削、ラッピングおよび研磨ユニットで構成されています。キャリッジは最大10個のウェーハカセットをサポートするように設計されており、それぞれが最大8個のウェーハを保持できます。このマシンは、最大80個の20インチウェーハを処理できます。研削、ラッピング、研磨ツールは、調整された周波数駆動によって駆動される研削ジョーとラッピングホイールを収容するモーター駆動スピンドルで構成されています。スピンドルは、制御と安全機構を収容する安定したフレームでサポートされています。アセットは自動化されており、ユーザーは研削とラッピングのために異なる角度と深さを選択することができます。さらに、モデルにはさまざまな種類のウェーハおよび/または表面仕上げの要件に合わせて調整するための可変速度設定が用意されています。プロセスの最後に、装置は表面粗さ、粒度、および他の関連する特徴を測定することができます。また、バリなどの研削およびラッピングに起因する表面の不規則性を検出することもできます。DSM 9B-5P-IVは、その機能と機能により、ウェーハの精密表面仕上げを必要とするあらゆるアプリケーションに適しています。半導体、エレクトロニクス、医療、金属などの産業に最適なシステムです。さらに、初心者向けのユーザーインターフェイスと幅広い自動機能により、研究機関や学術機関に最適です。