中古 SPEEDFAM 9B #9131295 を販売中
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タップしてズーム
ID: 9131295
ヴィンテージ: 1987
Lapper
Specifications:
Material: Glass / Alumina oxide
Carrier diameter: 9”
(2) Motors
(2) Inverter drives
Controller
Main cylinder and sub cylinder included
Lap plates
Plate diameter: 24.5”
Cast iron lap plates
Minimum thickness: .15 mm
Maximum thickness: 25 mm
Maximum part size: 150 mm
(5) Carriers
Maximum down force: 105 kg
Down force range: 0-105 kg
Lower plate: 8-60 RPM
Sun gear: 8-21 RPM
Pressure system: Manual settings
Main motor: 5 HP, 220/440 V
Sun gear motor: 5 HP, 220 V
Air supply: 5-6 kg/cm, 3-Phase
(3) Timers
Ring gear
Sun gear
Bearings
Gear box drive
Auto thickness controller
Operations: Silica carbide / DI Water
Automatic Thickness Control (ATC)
1987 vintage.
SPEEDFAM 9Bは、精密ウエハ研削、ラッピング、研磨装置です。これは、厳しい公差と優れた表面仕上げが必要なハイエンド半導体加工アプリケーションでの使用のために設計されています。研削ステージ、研磨ステージ、ラッピングステージ、検査ステージで構成されています。研削工程は、研磨材を使用した研削砥石を使用して、ウェーハの表面を形成します。研磨ステージは、研磨パッドと化学薬品を使用してウェーハの表面を滑らかにします。ラッピングステージは、研磨段階から残りの材料を取り除き、ウェーハの表面をさらに滑らかに洗練するために使用されます。最後に、検査段階では、ウェーハの欠陥や不規則性を検査することができます。SPEEDFAM 9 Bは、ユーザーが研削、研磨、およびラッピングステージを仕様にプログラムすることができます使いやすいコントロールユニットを持っています。これにより、ユーザーは正確な要件を満たすためにプロセスをカスタマイズすることができます。この機械には、緊急停止やオペレータの怪我のリスクを減らすための防振ツールなどの安全機能が装備されています。このアセットは、粉砕媒体や研磨消耗品など、他の機器との互換性のためにも設計されています。9Bは、高精度の研削、ラッピング、研磨のための堅牢なソリューションです。その堅牢な構造は、信頼性の高い操作と長い耐用年数を保証します。このモデルは高効率であり、より高いスループットと処理時間の短縮を可能にします。この装置は、直径8インチまでのウェーハを処理する機能を備えています。さらに、9 Bは使いやすいインターフェイスを備えており、多くの異なるソフトウェアおよび制御システムと互換性があります。これにより、ユーザーはオートメーションとプロセス制御の最新の進歩を利用することができます。全体的に、SPEEDFAM 9Bは、高精度の研削、ラッピング、研磨結果を達成するための信頼性が高く、効率的で使いやすいシステムです。他のプロセス自動化および制御技術と組み合わせて、SPEEDFAM 9 Bはウェーハ処理アプリケーションに最適です。
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