中古 SPEEDFAM JND 9B-5P-III #9166278 を販売中

ID: 9166278
ヴィンテージ: 1985
Double sided lapping machine SUS Plate 1985 vintage.
SPEEDFAM JND 9B-5P-IIIは、精密な機械加工と再現性の高い製品をお客様に提供するために設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、直径5。5インチまでの中型ウェーハに高精度のプロセスを提供します。JND 9B-5P-IIIはXY-Axis構成を採用しており、多軸スキャンと高速単点研削、ラッピング、研磨の両方が可能です。SPEEDFAM JND 9B-5P-IIIは、複数の研削、ラッピング、研磨ステージを備えたシングルヘッドデザインを採用しています。すべてのステージは同じチャンバーで行われ、各ウェハ処理において、マシンは複数の研削盤、ラッパー、研磨機を使用して、最適なプロセス結果と均一な結果を保証します。処理の複数の段階は、ウェーハ表面で滑らかな表面仕上げと平坦性の両方を達成することができるように、さまざまな校正ステップを可能にします。JND 9B-5P-IIIは、可変スピードポリッシャを使用して、お客様が異なるプロセス結果を達成するためにプロセス速度を調整することができます。プロセス速度を変化させる機能に加えて、マシンはマルチスタートラッピングプロセスを使用して、望ましい平坦性と表面仕上げをより正確に発見することができます。SPEEDFAM JND 9B-5P-IIIは、洗練されたウェーハ位置決めユニットを使用しており、プロセス全体でウェーハの迅速かつ再現性の高い位置決めを可能にします。このマシンは、位置決めにリニアスライドを使用し、二軸スキャン機能と組み合わせて、各ウェハの一貫した精密加工を可能にします。JND 9B-5P-IIIツールは、望ましい表面仕上げと平坦性を達成するために、非常に反復可能で正確なプロセスを顧客に提供するように設計されています。このアセットは、直径5。5インチまでのウェーハ処理が可能で、シングルヘッドまたはマルチヘッド構成を使用してキャリブレーションとプロセスの一貫性を提供できます。調節可能な研磨速度、マルチスタートラップ、プロセス全体の正確な位置決めにより、このモデルは信頼性の高いウェーハ処理結果を提供することができます。
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