中古 CANON / ANELVA COSMOS I-1201 #9292966 を販売中

CANON/ANELVA COSMOS I-1201はプラズマベースの原子炉で、一般的に表面処理やその他の薄膜アプリケーションで使用されます。それは安全を保障するために容易な操作のための10。4インチのタッチ画面、また多数の警告システムが装備されています。CANON COSMOS I-1201は、マイクロ波を利用して高温高密度プラズマを発生・維持します。このプラズマは、ターゲットのガス種を励起、イオン化、間接的に加熱するために使用され、これは基板材料と反応して薄膜を作成します。プロセスのすべての物理的な変数および目標条件は源の力、ガスの流動度、温度および圧力のようなタッチ画面のパネルと、カスタマイズすることができます。高性能を確保するために、原子炉にはプラズマパラメータを監視および維持するための高度なシステムが装備されています。ANELVA COSMOS I-1201は、原子炉の中心軸の周りに対称に配置された原子炉部品と円筒状に配置されています。この構成は、効率的なプラズマ生産のためにガス室のサイズとプラズマ密度を最適化するのに役立ちます。原子炉室の基盤はプロセスからの熱損失を減らすために低い熱伝導性の特別な陶磁器材料からなされます。プラズマデバイスには、集中電源、フィードシステム、シャーシの制御と監視、中央制御システムがあります。シリンダーは、外部干渉から原子炉室を効果的に「密閉」し、均一なプラズマパラメータを維持する均一なプラズマ温度プロファイルを提供します。COSMOS I-1201プラズマ原子炉で使用されるRF源は誘導型で、周波数は1MHzから13。56MHzまで調整可能です。低周波の使用は、プロセスをより効率的に実行し、スパッタリングを削減するのに役立ちます。全体的なプラズマパラメータとプロセス条件は、リアクターにインストールされた専用ソフトウェアを介してリアルタイムで監視することもできます。この原子炉は、高湿度条件で最適な性能を発揮するため、塩化物耐腐食コーティングによって保護されています。この原子炉は、小型で設置面積が小さく、操作しやすい制御インターフェースを備えているため、他のパネル型の原子炉の中でもユニークです。CANON/ANELVA COSMOS I-1201プラズマリアクターは、高性能で低エネルギー出力で、多くの産業材料加工アプリケーションに最適なソリューションです。