中古 CANON / ANELVA COSMOS I-1201 #9377264 を販売中

キヤノン/ANELVA COSMOS I-1201は、高効率でコンパクトで強力なエッチングと蒸着炉です。特に金属、半導体、化合物、誘電体のエッチングや成膜に適しています。1〜30MHzの周波数で最大500Wの電力を供給でき、微細加工や薄膜成膜など、さまざまな用途に適しています。最も一般的な機器や材料と互換性があるように設計されており、研究室や産業ユーザーに最適です。CANON COSMOS I-1201には、統合された電源と2つの独立したチャンバーがあります。最初のチャンバーはエッチングチャンバーで、プロセスガスを導入し、ガスパネル、バルブ、チャンバー圧力計の組み合わせによって制御されます。このチャンバーは最適なプラズマ均一性のために設計されており、望ましい結果が得られるように簡単に監視および調整されます。第二のチャンバーは、蒸着チャンバーであり、蒸着速度、均一性、精度など、均一なフィルムのような特性を提供するように設計されています。それはあらゆるサイズおよび厚さの材料を収容でき、異なった適用のための複数のプロセスガスと結合することができます。ANELVA COSMOS I-1201の追加の特徴は、電子ビームエッチングと蒸着機能を提供する電子銃です。この銃には、信頼性の高い操作と高速で正確な蒸着とエッチングを可能にする自動RFガン電源が装備されています。RF力は基質の暖房およびアニーリングを可能にするために広い範囲に調節可能です。このプロセスの精度を向上させるために、E-ガン電子は独立して調整可能なフォーカスグリッドを使用して集中してコリメートすることができます。COSMOS I-1201には、RFジェネレータのパラメータを自動設定するオートチューナーも装備しています。これにより、プラズマのパラメータを任意の条件に合わせて制御することができ、高いスループットと再現性に特に役立ちます。最後に、CANON/ANELVA COSMOS I-1201は、OSHA準拠のために設計された安全システムを内蔵しています。これには、イオン化アラーム、過熱保護、緊急シャットオフスイッチなどの多数の安全機能が含まれています。また、手術室での健康的な労働条件を確保するための低排出のろ過システムを備えています。クリアビューウィンドウを使用すると、ユーザーは常にプロセスを監視できます。要するに、キヤノンコスモスI-1201は、高効率でコンパクトで強力な蒸着・エッチング炉です。高精度な制御と幅広いプロセスガスで高出力を実現し、安全で信頼性の高い運転を目指して設計されています。それは研究所および産業ユーザーにとって理想的であり、多くのプロセスの効率そして正確さを改善すること確実です。