中古 CANON / ANELVA COSMOS I-1201 #293597728 を販売中
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ID: 293597728
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2002
PVD System, 12"
For solder bump
CANON ANELVA Cosmos 300 PVD System
(2) CANON ANELVA Unit-875CA Cryopump compressors
System rack
LCD Monitor rack
Controller rack
AC Power rack
Chiller
DC Rack
RF Rack
Cryo He hose
Process chambers:
Chamber-A (SLA-ICP)
Chamber-B, (3) Cooling and gate bulbs
Chamber-C
Chamber-D (Process: Cu)
Chamber-E (Process: Ti)
Chamber-F (Heat)
Dry pump racks:
EBARA AA10N Dry pump (upper stage)
EBARA AA10N Dry pump (lower stage)
Chambers:
Degas
SLA-ICP
Collimated CO
(2) STD-PVD
1022-41205C Channel relay box
1022-33862C Channel relay box
1022-39070C Channel relay box
(19) OMRON EE-SPX613 Liquid level sensors
ULVAC Qulee CGM-052 Gas analyzer
DENKI KOGYO STC-1S Matching control unit
DENKI KOGYO ST-1S Matching network
SMT1000J APC Smart-UPS 1000 LCD, 100 V
SUA1000J APC Smart-UPS 1000 VA USB, 100 V
ULVAC WPB-10-034 Pirani vacuum gauge
OMRON EE-SX674 Photo micro sensor
COPAL ELECTRONICS PG-35-102R-NVC Pressure gauge
Main breaker: 175/225 A
Interrupt current:10 A
Main UPS power supply
Power supply: 200 VAC, 50/60 Hz, 3-Phase, 3-wire (Ground)
2002 vintage.
キヤノン/ANELVA COSMOS I-1201は、薄膜の成膜に使用される小型で高性能なスパッタリングリアクターです。DCマグネトロン型の原子炉で、0。2nm/sまでの蒸着速度で薄膜を生成することができ、実質的にあらゆる材料をスパッタすることができます。原子炉には、基板を保持するための実装構造、チャンバーを避難させるための排気システム、プロセスを制御するためのRF発電機、イオン電荷を操作するためのイオン源が装備されています。また、イオン源にマグネトロン型の加熱フィラメント、イオンビーム加速管、電子銃、多段電子シリンダ磁石を備えています。CANON COSMOS I-1201は、高品質で均一な薄膜を製造することができ、ほぼすべての材料をスパッタすることができます。高周波AC電源を利用してチャンバー内に低圧環境を作り、金属や金属酸化膜のスパッタリングを可能にします。銅、アルミニウム、チタン、亜鉛、その他の金属、多種多様な金属酸化膜の製造に適しています。原子炉は最大1000Wの可変電力レベルを持ち、ターゲット材料の厚さに基づいて蒸着速度を調整することができます。ANELVA COSMOS I-1201の全体的な構造は、メンテナンスと低ランニングコストを最小限に抑えるように設計されています。モジュール式の設計により、メンテナンスのために簡単に分解して再構成することができます。チャンバーは、簡単に洗浄するためのシーレッドトップ蓋を備えており、基板を回転して調整して、目的の角度と堆積面積を得ることができます。また、ガスセーフティシャットオフスイッチや各種プロセスモニタリングセンサーを搭載し、最適な性能を維持します。COSMOS I-1201は、高品質の薄膜をリーズナブルなコストで堆積させることができるパワフルなスパッタリングリアクターです。プロセスを高精度に制御し、均一な厚さと優れた再現性を備えた超薄膜を製造することができます。便利なメンテナンス構造、調整可能なパワーレベル、実績のある耐久性を備えたCANON/ANELVA COSMOS I-1201は、薄膜部品の製造に最適です。
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