中古 CANON / ANELVA COSMOS I-1201 #293649672 を販売中

CANON/ANELVA Cosmos I-1201は、産業用スパッタリングプロセスで使用される真空アーク炉（VAR）です。これは、さまざまな産業材料上の反応性および非反応金属、誘電体、セラミックコーティングの蒸着速度を制御するために使用される、コンパクトで完全に密封され、自己完結型のデバイスです。CANON Cosmos I-1201は、真空密封されたチャンバーにアルゴンと酸素の低圧混合物が充填されたときに、アノードとカソードの間に形成されたアークによって駆動されます。アークは、負に帯電した陰極から正に帯電した陽極に流れる電流によって生成されます。このアークはプラズマ場を作り出し、加熱ターゲットから反応性および非反応性材料を蒸発させ、基板上に堆積させて所望の工業用コーティングを形成します。ANELVA Cosmos I-1201には、反応スパッタリングまたは非反応（マグネトロン）スパッタリングモードでの動作を可能にするメディアフェーズジェネレータが装備されています。Cosmos I-1201は、スパッタリングモードで動作する場合、マグネトロン技術を使用して、従来の蒸着システムに比べて消費電力を抑えながら、均一なコーティングを実現します。マグネトロンはチャンバーの中心部品として機能し、その設計はスパッタコーティングの性能と均一性に大きな影響を与えます。封じられた電子サイクロトロン共鳴（ECR）システムは、より高い基板表面温度を提供し、侵食されたターゲット材料の副産物を大幅に削減します。CANON/ANELVA Cosmos I-1201の真空システムは広大で、10-4 Pa未満から10-2 Pa以上の圧力で動作します。真空チャンバーの2つの特徴は、チャンバーとスイベルベースの間にあるトリロックシールです。CANON Cosmos I-1201は、成膜の種類に応じて、マルチチャンバー動作用の2つまたは4つのプロセスチャンバーを装備することができます。アノード冷却システムは、水冷電極と水冷チャンバーに基づいており、動作中に効率的な熱除去を提供します。特許取得済みのアノード冷却およびオイル冷却システムは、アノードへの熱損傷を防止し、ターゲット基板全体で均一で安定した温度を維持するために動作します。ANELVA Cosmos I-1201は、正確で再現可能なプロセスと安全な操作を保証するために、高度な技術を採用しています。最新のソフトウェアは、マルチユースアーキテクチャと組み合わせることで、ユーザーは堆積プロセスの多くのパラメータを完全に監視、制御、および調整することができます。さらに、統合されたin-situ diagnosticsは、有効にすると、電流および平均ビーム電力、熱負荷、ターゲット電流および電圧などのプラズマパラメータに関する情報を収集します。全体として、Cosmos I-1201は数多くの産業用スパッタリングプロセスを容易にする信頼性の高い効率的な原子炉装置です。それは正確さ、versaalityおよび安全な操作を保障する先端技術および先端エンジニアリングソリューションで構成されます。