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CANON FPA 5550 iZ+ #293817794
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CANON

FPA 5550 iZ+

i-Line stepper Numerical Aperture (NA): 0.45-0.57 DCO:  45 Resolution: 350 nm Throughput (WPH): 230.
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CANON FPA 5550 iZ #293817793
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CANON

FPA 5550 iZ

i-Line stepper Numerical Aperture (NA): 0.45-0.57 Resolution: ≤350 nm DCO: 45.
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