中古 CANON FPA 5550 iZ #293817793 を販売中

CANON FPA 5550 iZは、要求の厳しいマイクロリソグラフィープロセス用に設計された高度なウェーハステッパーです。この最先端のステッパーは、優れたイメージング機能と優れたデバイス間の均一性を提供します。独自の高精度アライメント装置により、ウェーハの正確なアライメントを保証します。ステッパーは、デバイスの高精度な生産のために、半導体やその他のデバイスに正確にパターンを露出し、イメージすることができます。超大型基板の高速生産を可能にし、比類のないスループットと生産性を実現します。それは0。6 μ mの最低のacuityおよび0。5 μ mの均等性の決断の優秀な決断を、提供します。独自のハローイルミネーションシステムと高度なオートブランキングメカニズムにより、正確な配置とマスキングの均一性を保証します。ステッパーは、複数の波長露光やマルチレベルの自動露光など、いくつかのイメージング技術をサポートしています。また、特殊な反復焦点機能をサポートしており、異なる基板内に正確に焦点を当て、様々な厚さの薄膜を実現しています。「XYZレンズチューニング機能」により、正確なピント合わせを保証し、イメージングの精度をさらに向上させます。その最適化された多段式真空フィードユニットは、ウェーハの滑らかで効率的で正確な動きを保証します。また、優れた高速通信機能を備えており、データ転送速度は最大3。5 MB/sです。独自の高精度パターンマッチングマシンにより、マスクと基板間のパターンの正確なマッチングが保証され、デバイス間の完全な均一性が保証されます。さらに、この先進的な装置は、ウェーハの取り扱いと位置決めのための高解像度ロボットも備えています。ステッパーは容易な維持のために設計され、さまざまな生産ラインに容易に統合することができます。その高度な操作機能は、写真、マイクロエレクトロニクス、医療機器、マイクロメカニクス、航空宇宙など、さまざまなアプリケーションに適しています。要するに、FPA 5550 iZは、優れた結果を提供し、要求の厳しいリソグラフィープロセスで正確さを確保するように設計された高精度のウェーハステッパーです。