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AIXTRON LYNX-iXP #9098087

AIXTRON

LYNX-iXP

CVD system, 12" Process: metal films SiH4-based WSi DCS-based WSi Tungsten (W) Ultra-thin WSi film
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AIXTRON LYNX-iXP #9098086

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LYNX-iXP

CVD system, 12" Process: metal films SiH4-based WSi DCS-based WSi Tungsten (W) Ultra-thin WSi film
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AIXTRON LYNX-iXP #9092600

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CVD system, 12" Process: metal films SiH4-based WSi DCS-based WSi Tungsten (W) Ultra-thin WSi film
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