中古 SVGL Micrascan MPT #9246179 を販売中

SVGL MicroScan MPTは、非生産性を低減し、プロセスの最初からウェーハスループットを向上させるように設計された完全に自動化されたウェーハステッパーです。完全に自動化された高速で信頼性の高い混合製品処理機能を提供します。また、リソグラフィ用途の迅速な実行のために、ウェーハの正確な位置決めと集中を可能にします。ステッパーは、優れた精度とパフォーマンスのために3つのコア軸を備えた二軸モーションコントロールを備えています。その機械設計は、高度な高分解能のガルバノメータースキャン装置で構成されており、調整可能なスキャン速度と調整可能な解像度を備えており、ウェーハの正確な位置決めとターゲティングが可能です。その光学系には、高精度CCDカメラ、高解像度レンズ、および優れた解像度と精度のための高度なリソグラフィックレンズが含まれています。MicroScan MPTの制御ソフトウェアには、最高品質の印刷物を保証するために継続的かつ正確な制御を可能にするさまざまな自動ルーチンテストとフィードバック機能が含まれています。これは、ステップモーション、ウェーハアライメント、およびエラーの詳細な出力を提供する生産監視機能の配列を提供します。また、さまざまなデータロギング機能を備えており、パフォーマンスを分析し、潜在的な問題を特定できます。ステッパーは、大判200mmウェーハから300mmウェーハまで、さまざまな製品フォーマットをサポートし、豊富なリソグラフィーテンプレートを使用しています。自動化されたデバイス診断により、すべての障害を監視し、エラーを迅速に検出して対処することができます。MicroScan MPTは、生産スループットを向上させるために、信頼性の高い動作と迅速なサイクルタイムを実現するように設計されています。ステッパーには、緊急時の人員と機器を保護するための緊急遮断機能を含む堅牢な安全システムが含まれています。ステッパーのユーザーフレンドリーなインターフェースとシンプルなセットアップにより、機器の使用を簡単に開始できます。高度な制御ユニットにより、処理中のすべてのマシンパラメータの堅牢な構成とリアルタイム監視が可能です。このマシンには、プロセス、データロギング、および履歴アーカイブの各ステップにおけるウェーハのトレーサビリティのためのin-situトラックおよびトレースも含まれています。全体として、SVGL MicroScan MPTは、異機種混在プロセスに堅牢で信頼性の高いソリューションを提供し、効率的な処理時間と高精度の印刷を可能にします。ステッパーは高解像度の再現可能な結果と包括的な診断を提供し、高品質の生産と信頼性の高い操作を保証します。